Fortschrittliches Nassprozesssystem für Plating, Ätzen, Stripping und Reinigen

Fortschrittliches Nassprozesssystem für Plating, Ätzen, Stripping und Reinigen

Modular Wet-Bench

Die modulare Wet-Bench ist eine kompakte und flexible Nassprozessanlage für die Bearbeitung von Wafern und Panels in den Bereichen Plating, Ätzen, Stripping, Entwickeln und Reinigen. Das System basiert auf einem einzelnen Prozessmodul mit zwei hintereinander angeordneten Becken und einem seitlich angebauten Schaltschrank. Ein Touch-Display im Prozessmodul sowie ein beweglicher, zentraler Touch-Monitor ermöglichen einen schnellen Zugriff auf Statusinformationen und Prozessrezepte.

Nach der manuellen Beladung übernimmt ein vollautomatischer, integrierter Roboterarm den Transport der Carrier von vorne nach hinten zwischen den beiden Prozessbecken sowie die Agitation in den Becken. Die klare und funktionale Bauweise ermöglicht einen einfachen Zugang für Wartung und Service. Die Grundeinheit aus Schaltschrank und einem Prozessmodul kann durch weitere Prozessmodule flexibel und unbegrenzt erweitert werden.

Features

  • Einzelmodul mit zwei hintereinander angeordneten Prozessbecken

  • Integrierter, vollautomatischer Roboterarm

  • Automatische Agitation

  • Touch-Display und Touch-Monitor für globale und lokale Steuerung

  • Kompakte und platzsparende Bauweise

  • Einfache Wartung

  • Flexibel erweiterbar durch modulare Bauweise

  • Geeignet für Plating-, Ätz-, Stripping-, Entwicklungs- und Reinigungsprozesse

  • Globales und flexibles User- und Rezeptmanagement

  • Breite Palette unterstützter Kommunikationsprotokolle und Integrationsstandards wie OPC UA, SECS/GEM, SMEMA etc.

Technische Basisspezifikationen

  • Maschinenausführung in PP oder Edelstahl

  • Abmessungen (L × B × H): ca. 1850 × 1500 × 2420 mm

  • Gesamtgewicht: ca. 750 kg

  • Netzanschluss: 1 × 400 V, 3-phasig, 50 Hz

  • Druckluft (CDA): 6,5 bar, 80 l/min

  • Stickstoff: 4 bar, max. 1 l/min

  • DI-Wasser: 5–6 bar, 1000 l/h, >14 MΩ·cm

  • Reinraumempfehlung: ISO 7 (Class 10.000) oder höher

  • Große Auswahl an Beckenmaterialien: Quarzglas, Edelstahl, PVDF, PP etc. mit diversen Beschichtungen wie PVA

Modular Wet-Bench with 2 process modules