装置
当社のレーザーはんだ付け技術は、クリーンで正確かつ柔軟性に富んでいます。独自のボールハンドリング機構により、単一のはんだボールをキャピラリー内に供給し、レーザービームの熱エネルギーではんだボールを溶かします。溶融したはんだボールを任意の位置に付着させることで、即座にリフローを完了ことができます。融点の異なる様々なはんだ合金にも対応しており、基本的にフラックスを必要としないプロセスなため、クリーンな作業が可能です。
また、レーザーによる局所的な加熱と極短時間のリフローにより、接合面以外の部分にかかる熱ストレスを最小限に抑えることができます。単一のはんだボールを選択的に吐出する機構のため、はんだ付けにマスキングのためのツールが必要とされず、柔軟かつ非接触でのはんだ付けを可能にします。
局所的なレーザー加熱機構により、数ミクロンの配線を液状化しリフローするために、基板全体をリフロー温度まで加熱することなく、配線の気になる部分に選択的に温度を加えることが可能です。カスタマイズされたボンドツールとレーザー技術により、ピックアンドプレースとアセンブリリフロー加熱を高精度<5µmでシングルステップで実現します。局所加熱により大型ダイの確実な接合を実現し、In-situリフローにより300μmの超小型ダイのアセンブリをサポートします。
また、独自の温度制御機構により、チップや部品の過加熱、基板の反り、リフローの繰り返しを防止します。
当社の無電解めっきプロセスは、Si、Si化合物、InP、LiTaなどの様々な素材の半導体ウェーハを対象とし、ウェーハ上のAlやCuなどのボンドパッドの上にNi、Pd、Auなどのめっきを形成します。これらははんだやワイヤボンドとの接着層、拡散バリアー層、濡れ性向上などの機能を果たし、フリップチップやWLCSPなどの各種パッケージの信頼性と性能を高めます。
装置に加えて、25年以上にわたる自社でのWLPサービスの量産経験から、再現性と信頼性の高い結果を得るための独自のめっき薬液も取り揃えています。
ウェーハは、完全自動化されためっきラインに投入されます。ロボットハンドラーによってウェーハはライン内を搬送され、インライン分析とメンテナンスによって十分に管理された薬液槽を通過します。
委託加工サービスや装置/薬品の販売だけでなく技術移転/トレーニングも含め、委託での少量生産からお客様工場内でのめっきライン導入に至るまでをフルサポートする、独自のターンキーモデルを提供しています。
Ultra-SB² ®は、ロボットウェーハ搬送ユニット、フラックス印刷ユニット、ボール搭載ユニット、ウェーハレベルリワークユニットの4つのユニットからなるカスタマイズ可能なはんだボールマウンターです。この4つのユニットにより、カセットtoカセットの全自動のボール搭載プロセスが実行可能です。
リワークユニットでははんだボールを搭載したウェーハ上の、はんだボールの欠落、位置ずれ、余分なはんだボールの混入などをリワークします。
ボール搭載後に2D検査とリワークを行うことで、ウェハ上のバンプ歩留まりを最大100%まで向上させることが可能です。また、ボール搭載後のウェハ検査だけでなく、搭載前後のステンシル検査も含めた検査の実施により、プロセス全体の制御を最大限に実現します。
加えてUltra-SB² ®は、既存の製造ラインに組み込むことができるようカスタマイズが可能です。
