再配布レイヤ(RDL)サービス

多くのダイでは、フリップチップやウェハレベルのチップスケールパッケージ用に設計されておらず、パッドが外周部に配置されているケース(ペリフェラル型など)が見受けられます。またこのケースではパッド自身、ワイヤーボンディング用に設計されているため、サイズがはんだバンプ用としては小さすぎることが多くあります。これらのパッドを外周部からチップ上の別の場所に再配置しパッドを大きくすることで、はんだボールによる実装(フリップチップまたはWLCSP)が可能になります。

再配線層(RDL)の使用により、チップの全体をパッドのは位置エリアとして活用できるため、面積の削減、I/O配置の共通化、よりシンプルで安価な基板の利用などが可能になります。再配線は、ウェーハ上へのパッシベーション層の形成、再配置を行うための金属配線の形成、などの工程を経て行われます。

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RDL Redistribution Layer

ウエハーレベルパッケージングサービス

電気メッキサービス

電気めっき、または電気化学的析出は、任意の基板上の金属(複数可)の層で対象物をコーティングするために電解を使用するプロセスである。例えば、RDLや銅はこのプロセスの一部である。

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無電解メッキサービス

ワイヤーボンディングやはんだボールなど実装方法ごとに適しためっきをパッド上に形成します。ウェーハプロセスかつマスクレスのため低コストでの成膜が可能です。

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レーザーアシストボンディング

レーザーアシストボンディングは、レーザーエネルギーによって2つの材料の表面を結合させる接合方法である。

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はんだボール実装

様々なパッケージ(WLCSP, フリップチップなど)上にはんだバンプを形成します。

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部品実装

ウェーハの表面にダイや受動部品などコンポーネントを実装します。

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バックグラインド

ダイの薄型化のためウェーハ裏面を研削します。

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バックサイドメタル

ウェーハ裏面にバックサイドメタルを形成します。

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ダイシング

ウェーハからダイを切り出し、個片化します。ダイシングブレードを使用します。

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