晶圆减薄服务

晶圆减薄可以在多个方面为电子设备带来益处:

  • 降低热阻

  • 提高器件性能
  • 增强可靠性

  • 减小整体封装高度, 最大限度地减少由硅芯片和电路板材料热膨胀系数 (CTE) 不匹配所引起的芯片应力。

最常见的晶圆薄化技术是机械研磨。该技术通过两步过程从晶圆的背面去除硅:先粗磨再细磨。这是采用一种含有特定尺寸的金刚石颗粒的研磨工具来执行的。粗磨阶段通常可以完成背面研磨的 90% 左右,显著减小晶圆厚度。然而,粗磨也会产生微裂纹并损伤硅晶格。细磨阶段则用于完成背面研磨过程的剩余部分,并去除粗磨造成的的部分损伤。

晶圆级封装服务

电镀

电镀,或电化学沉积,是利用电沉积工艺在任何基材上镀覆一层金属的过程。例如,RDL 和铜就属于电镀工艺的一部分。

化镀

低成本无掩模化学沉积技术,可在晶圆表面沉积各种金属叠层,用作金属间互连,提高产品可靠性和性能。

激光辅助键合

激光辅助键合是一种利用激光能量将两种材料表面键合在一起的互连方法。

焊锡凸点技术

多种焊锡沉积技术用于形成 WLCSP 和倒装芯片互连的焊锡凸点。

晶圆级组件封装

晶圆级封装是将芯片或各种无源器件贴装在晶圆表面的工艺。

晶圆减薄

晶圆减薄是指为最终封装中的芯片减薄晶圆背面的过程。

晶圆金属镀层

利用蒸发或溅射技术在晶圆背面应用各种金属叠层以提高芯片性能。

晶圆切割

晶圆切割是指利用高精度的方法将晶圆上的芯片一个个分开分离的过程。