アプリケーション
- チップの垂直実装
オプション
- ウェーハハンドリングシステム
- ディスペンサーシステム
- 基板供給システム
- ダイレクトダイフィーダー
- UVキュア
- さまざまな精度仕様が選択可。±25μm(標準)、±5μm、±10μm
メリット
- インライン対応
- 高い生産性
- ビジョンシステム
- 回転補正、オートアライメント
- 温度制御
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