晶圆减薄可以在多个方面为电子设备带来益处:
降低热阻
增强可靠性
减小整体封装高度, 最大限度地减少由硅芯片和电路板材料热膨胀系数 (CTE) 不匹配所引起的芯片应力。
最常见的晶圆薄化技术是机械研磨。该技术通过两步过程从晶圆的背面去除硅:先粗磨再细磨。这是采用一种含有特定尺寸的金刚石颗粒的研磨工具来执行的。粗磨阶段通常可以完成背面研磨的 90% 左右,显著减小晶圆厚度。然而,粗磨也会产生微裂纹并损伤硅晶格。细磨阶段则用于完成背面研磨过程的剩余部分,并去除粗磨造成的的部分损伤。



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