用于球位放置和返工的自动凸焊机

Ultra-SB² 是一款可定制的焊球贴装机，由机器人晶圆搬运单元、助焊剂印刷单元、焊球放置单元和晶圆级返工单元 4 个模块组成。 这 4 个模块可以实现全自动的盒式到盒式焊球放置过程。

该设备支持焊后返工和贴装前后的锡膏钢网检测，结合贴装后 2D 检测功能， 可实现 100% 的焊球良率。 其不仅能实现盒式到盒式的晶圆搬运， 而且集成的 2D 检测功能还可以对锡膏钢网进行贴装前和贴装后的检测， 最大限度地控制焊球凸起工艺。

焊锡球被放置在预涂助焊剂的 UBM 垫上并固定到位， 可实现高精度的焊球贴装， 尤其适用于微小焊球和小间距布局。 经过焊锡贴装后的晶圆将再次进行检测， 剔除缺失、错位、额外的焊球，并在回流焊之前进行替换。 Ultra-SB² 可通过不同的晶圆搬运系统定制集成到现有的生产线中， 实现自动化的晶圆处理。