LAPLACE-VC 激光键合机适用于将芯片或类似器件从晶圆包装加载到机器中,并手动将各种载体基板加载到机器的工作台上。该系统采用独特的专利激光热压工具,集成在键合机的真空取放单元中。由于激光热压的高灵活性,因此该系统只需要在基板上涂上薄薄的焊料层即可完成键合。
亮点
点胶系统
基板供给器
直接芯片供给器
高产能
提供不同精度规格选择:±25µm(标准)、±5µm、±10µm(可选)
旋转矫正和自动对准
90 度翻转单元,以便将芯片呈现给键合工具
内存芯片
MEMS(传感器、陀螺仪等)
垂直芯片键合