LAPLACE-VC 激光鍵合機適用于將芯片或類似器件從晶圓包裝加載到機器中,並手動將各種載體基板加載到機器的工作台上。該系統采用獨特的專利激光熱壓工具,集成在鍵合機的真空取放單元中。由于激光熱壓的高靈活性,因此該系統只需要在基板上塗上薄薄的焊料層即可完成鍵合。
亮點
聯機能力
高産量
旋轉校正和自動對准
晶圓處理系統
點膠系統
基板供給器
直接芯片供給器
紫外線固化
聯機能力
高産能
提供不同精度規格選擇:±25µm(標准)、±5µm、±10µm(可選)
視覺系統
旋轉矯正和自動對准
90 度翻轉單元,以便將芯片呈現給鍵合工具
溫度控制單元
激光1級認證工具
内存芯片
二極管(光電二極管、LED、µLED)
MEMS(傳感器、陀螺儀等)
垂直芯片键合