높은 신뢰성과 품질을 갖춘 무전해 도금 설비

PACLINE ®

PacTech의 마스크를 쓰지 않는 자가 패터닝 습식 화학 도금 공정은 실리콘, 실리콘 화합물, 인듐 인산염, 탄탈산 리튬 등 다양한 재질의 반도체 웨이퍼에 있는 알루미늄 또는 구리 본드 패드 위에 니켈, 팔라듐, 금을 도금합니다. 이 도금층은 플립 칩(Flip Chip) 및 WLCSP와 같은 다양한 조립 및 패키징 공정에서 솔더 및 와이어 본딩을 위한 접착층, 확산 방지막 및 젖음층(wetting layer)의 역할을 하여 신뢰성과 성능을 향상시킵니다. 이 공정은 PacTech이 독자적으로 개발한 특수 화학 조성물을 사용하여 재현 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 이는 25년 이상 우리의 고부하 생산 경험을 통해 입증되었습니다.

웨이퍼는 완전 자동화된 습식 화학 도금 라인에 로딩되며, 로봇 핸들러에 의해 운반되어 정밀하게 제어되는 화학 욕조를 거치게 됩니다. 이 화학 욕조는 인라인 분석 및 유지보수를 통해 철저히 관리됩니다. 저희가 제공하는 독자적인 턴키 모델에 대해 더 자세히 알고 싶으시다면 언제든지 문의해 주세요. 소량부터 대량 생산까지, 위탁 가공 서비스는 물론 설비, 화학약품 판매 및 기술 이전까지 고객의 니즈에 맞춘 다양한 솔루션을 제공합니다.

주요 특징

  • 최대 유연성: 4인치 \~ 12인치 대응

  • 생산능력: 연간 최대 600,000장 (8인치 기준)

  • 툴링 불필요

  • 인라인 욕조 제어 및 자동 보충 시스템

  • 레시피 관리, 공정 제어, 데이터 로그 기능을 갖춘 Total Quality 소프트웨어

  • SECS GEM 인터페이스 (옵션)

  • 턴키 공정 솔루션 제공

PACLINE ® 제품 및 응용 분야

제품군

  • 반도체

  • 파워 MOSFET

응용 분야

  • RFID 안테나용 접착 부착

  • 웨이퍼 레벨 칩 스케일 패키징 (WLCSP)

  • 플립 칩

  • 동(Cu) 및 고신뢰성금(Au) 와이어 본딩

  • 클립 부착