무전해 니켈/금 도금 개요

언더범프 금속층(UBM)은 모든 범핑 공정의 필수 구성 요소입니다. 이 층은 일반적으로 물리적 증착법(PVD), 전기도금 또는 무전해 도금 방식으로 증착됩니다. 이 세 가지 UBM 기술 중 선택은 주로 비용과 신뢰성에 의해 결정됩니다. PVD와 전기도금 기술은 고진공과 포토리소그래피 공정이 모두 필요하므로, 일반적으로 비용이 높은 공정으로 간주됩니다. 무전해 니켈/금 도금 공정 기술은 자체 패터닝이 가능한 간단한 습식 화학 공정으로, 전체 자본 투자와 운영 비용 측면에서 비용 절감에 기여합니다.