솔더 볼 마운팅 및 리웍용 자동 솔더 범핑 설비

Ultra-SB² ^® 는 로봇 웨이퍼 핸들링 유닛, 플럭스 프린팅 유닛, 볼 마운팅 유닛, 웨이퍼 수준 리웍 유닛으로 구성된 맞춤형 솔더 볼 마운터입니다. 이 4개의 유닛을 통해 완전 자동화된 카세트-to-카세트 솔더 볼 마운팅 공정이 수행될 수 있습니다.

솔더 리플로우 전에 2D 검사와 웨이퍼 레벨 리웍을 통해 웨이퍼에서 최대 100%의 범프 수율을 달성할 수 있습니다. 이 설비는 카세트-to-카세트 방식으로 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 통합된 2D 검사 기능은 솔더 볼 장착 후 웨이퍼 검사뿐만 아니라, 장착 전·후의 스텐실 검사까지 포함하여 솔더 범프 공정 제어를 극대화합니다.

솔더 볼은 플럭스가 도포된 웨이퍼의 UBM 패드 위에 놓이고 고정되어, 특히 마이크로 솔더 볼과 미세 피치 레이아웃에서도 높은 정밀도의 볼 마운팅을 가능하게 합니다. 솔더 볼이 마운팅된 웨이퍼는 다시 한 번 검사를 진행하여 누락, 위치 어긋남, 과잉 솔더 볼 여부를 확인하며, 솔더 리플로우 전에 불량 볼은 제거되고 새롭게 교체됩니다. Ultra-SB² ^® 는 다양한 웨이퍼 핸들링 시스템과 연동하여 기존 제조 라인에 맞춤 통합할 수 있어 자동 웨이퍼 공정 구현이 가능합니다.