모듈형 웻 벤치는 콤팩트하고 유연한 습식 처리 시스템으로서, 웨이퍼 및 패널의 도금, 식각, 박리 및 세정 공정을 진행할 수 있습니다. 본 시스템은 직렬로 배열된 2개의 탱크를 갖춘 단일 공정 모듈과 측면 장착 제어 캐비닛으로 구성됩니다. 공정 모듈 내 터치 디스플레이와 이동식 중앙 터치 모니터를 통해 상태 정보와 공정 레시피를 손쉽게 확인할 수 있습니다.

수동 로딩 후, 완전 자동화된 로봇 팔이 두 공정 탱크 사이에서 캐리어를 전후로 이송하고 탱크 내 교반을 수행합니다. 명확하고 기능적인 설계로 유지보수 및 서비스 접근이 용이합니다.

기본 유닛은 제어 캐비닛과 하나의 공정 모듈로 구성되어 추가적인 공정 모듈을 연결하면 유연하고 무제한적으로 확장이 가능합니다.

주요 특징

기술 기본 사양