도금, 식각, 박리 및 세정을 위한 첨단 습식 공정 시스템

모듈형 웨트 벤치

본 모듈형 웨트 벤치는 웨이퍼 및 패널의 도금, 식각, 박리 및 세정 공정을 위한 콤팩트하고 유연한 습식 처리 시스템입니다. 본 시스템은 직렬로 배열된 2개의 탱크를 갖춘 단일 공정 모듈과 측면 장착형 제어 캐비닛으로 구성됩니다. 공정 모듈 내 터치 디스플레이와 이동식 중앙 터치 모니터를 통해 상태 정보 및 공정 레시피에 신속하게 접근할 수 있습니다.

수동 로딩 후, 완전 자동화된 통합 로봇 암이 두 공정 탱크 사이에서 캐리어를 전후로 이송하고 탱크 내 교반을 수행합니다. 명확하고 기능적인 설계로 유지보수 및 서비스 접근이 용이합니다.

제어 캐비닛과 하나의 공정 모듈로 구성된 기본 장치는 추가 공정 모듈을 통해 유연하고 무제한으로 확장할 수 있습니다.

주요 특징

  • 직렬 배치된 2개 공정 탱크의 단일 모듈

  • 통합형 완전 자동 로봇 암

  • 자동 교반

  • 글로벌 및 로컬 제어용 터치 디스플레이 및 모니터

  • 콤팩트하고 공간 절약형 설계

  • 유지보수 용이

  • 모듈 설계를 통한 유연한 확장

  • 도금, 식각, 박리, 현상 및 세정 공정에 적합

  • 글로벌 사용자 및 레시피 관리

  • OPC UA, SECS/GEM, SMEMA 등 다양한 통신 프로토콜 및 통합 표준 지원

기술 기본 사양

  • 장비 재질: PP 또는 스테인리스강

  • 크기(L×W×H): 약 1850×1500×2420 mm

  • 총 중량: 약 750 kg

  • 전원: 1×400V, 3상, 50Hz

  • 압축 공기(CDA): 6.5 bar, 80 l/min

  • 질소: 4 bar, 최대 1 l/min

  • DI수: 5–6 bar, 1000 l/h, >14 MΩ·cm

  • 권장 클린룸 등급: ISO 7 (Class 10,000) 이상

  • 석영 유리, 스테인리스강, PVA, PP 등 다양한 탱크 재질 및 PVA 등 다양한 코팅 옵션 제공

Modular Wet-Bench