솔더볼 마운트 설비 – Ultra-SB² ^® 

Ultra-SB² ®는 플럭스 프린팅, 볼 마운팅, 2D 검사 및 리웍 기능이 통합된 완전 자동화 솔더 볼 범핑 설비로, 사용자가 최적의 범핑 수율 100%를 달성할 수 있도록 도와줍니다. 카세트간 웨이퍼 이송 기능을 가지고 있으며, 내장된 2D 검사 기능으로 볼 마운팅 후 위치 검사 뿐 아니라 볼 마운팅 공정의 최적 제어를 위하여 사전/사후 스텐실 검사 역시 수행 가능합니다.

솔더볼은 미리 플럭스가 도포된 웨이퍼의 UBM 패드 위에 놓이고 고정됩니다. 이 공정은 특히 마이크로 솔더볼과 미세 피치 배치를 위해 높은 정밀도의 볼 마운팅을 지원합니다. 솔더 볼이 마운팅된 웨이퍼는 누락, 오배치, 이중 솔더볼 등을 확인하기 위해 검사를 진행합니다. 검사를 통해 판정된 불량 작업 패드는 리플로우 전에 볼 제거 및 리웍을 진행합니다.