亮点
- 最大的灵活性:4″-12″
- UPH:每年高达600,000片 8 “的晶圆
- 无需工具
- 在线浴液控制和补给
- 用于配方管理、工艺控制、数据记录的全面质量软件
- SECS GEM接口可选
- 交钥匙工艺解决方案
辉腾公司的Pacline-设备
2022-05-27T10:51:44+02:00
PacLine 300 A50
PacLine 300 A50是一种全自动设备,用于在半导体晶圆上进行Ni/Au、NiPd或NiPdAu凸点的无电解沉积。
亮点
辉腾公司的Pacline-设备
PacLine 300 A50是一种全自动设备,用于在半导体晶圆上进行Ni/Au、NiPd或NiPdAu凸点的无电解沉积。