무전해도금 설비 – PACLINE ®

마스크 없이 자체 패턴화되는 습식 화학 도금 공정으로, 실리콘, 실리콘 화합물, 인듐 포스파이드, 리튬 탄탈레이트 등 다양한 재질의 반도체 웨이퍼 위 알루미늄 또는 구리 본드 패드에 니켈, 팔라듐, 금을 도금합니다. 이 층은 접착층, 확산 차단층, 그리고 솔더와 와이어 본드의 습윤층 역할을 하여, 플립 칩(Flip Chip)과 WLCSP와 같은 다양한 조립 및 패키징의 신뢰성과 성능을 향상시킵니다. 25년 이상의 자체 대량 생산 경험을 바탕으로 입증된, 재현 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 위한 PacTech의 독자적인 화학 조성물을 사용합니다.

웨이퍼는 완전 자동화된 습식 화학 도금 라인에 적재되며, 로봇 핸들러가 웨이퍼를 이동시켜 인라인 분석 및 유지 관리 기술로 제어되는 Chemical Bath를 통과하게 됩니다. 소량 생산에서 대량 양산까지, PacTech이 제공하는 공정 서비스 및 설비와 케미컬 류, 기술 이전 서비스에 대해 자세하게 알아보고 싶으시면 문의주시기 바랍니다.

하이라이트

  • 다양한 웨이퍼 사이즈 대응: 4인치 ~ 12인치

  • 처리량: 연간 최대 600,000 웨이퍼 (8인치 기준)

  • 실시간 욕조 관리 및 자동 보충 시스템

  • 레시피 관리, 공정 제어, 데이터 로깅을 위한 통합 품질 소프트웨어

  • 공장 자동화를 위한 SECS GEM 인터페이스 선택 가능

  • 맞춤형 턴키 공정 솔루션 제공

PACLINE ®– 설비

2025-09-09T06:18:08+02:00

PACLINE ®

PACLINE ® 300 A50는 반도체 웨이퍼에 Ni/Au, NiPd 또는 NiPdAu 범프를 무전해 증착하기 위한 완전 자동화 설비입니다.